|
题名:
|
微机电系统基础
/
(美)刘(Chang Liu)
,
|
|
ISBN:
|
978-7-111-22333-7
价格：
CNY49.00
|
|
载体形态:
|
11,365页
26cm
|
|
出版发行:
|
出版地：
北京
出版社：
机械工业出版社
出版日期：
20070101
|
|
内容提要:
|
本书共分16章，概括了基本传感原理和制造方法，讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识，描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器等。
|
|
主题词:
|
微电机
|
|
中图分类法:
|
TH-39
版次：
|