题名:
半导体制造技术   / (美)夸克Michael Quirk,(美)Julian Serda ,
ISBN:
7-121-02710-0 价格: CNY69.00
载体形态:
14,666页 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 电子工业出版社 出版日期: 20060101
内容提要:
本书内容包括与半导体制造相关的基础技术信息、总体流程图的工艺模型概况、用流程图将硅片制造的主要领域连接起来、集成电路装配和封装的后部工艺概况等。 
主题词:
半导体工艺  
中图分类法:
TN305 版次: