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题名:
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微系统设计与制造 / 王喆垚 , |
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ISBN:
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978-7-302-15196-8 价格： CNY59.00 |
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载体形态:
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648页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 20080101 |
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内容提要:
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微系统(MEMS)是一门多学科高度交叉的前沿学科领域，其设计、制造和应用广泛涉及到物理学、化学、力学、微电子学、电子学、光学、生物医学和控制工程等多个学科。本书介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件。主要内容包括：微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统(RF MEMS)、光学微系统(MOEMS)、生物医学微系统(BioMEMS)以及微流体与芯片实验室。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN40 版次： |