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题名:
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微传感器设计、制造与应用 / 刘广玉 , |
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ISBN:
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978-7-81124-199-0 价格： CNY23.00 |
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载体形态:
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218页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京航空航天大学出版社 出版日期： 20080101 |
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内容提要:
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本书主要内容是对基于压阻效应、电容效应、机械谐振效应、光电效应、电子隧道效应和原子力效应的多种微传感器和智能微传感器的物理机理、材料、设计、制造、应用和发展进行了深入系统的讨论，包括对压力、加速度、角速度、纳米尺度和图像生成等的测量与性能分析。 |
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主题词:
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微型 |
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中图分类法:
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TP212 版次： |