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题名:
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MEMS/MOEMS封装技术: 概念、设计、材料及工艺 / (美) 肯·吉列奥 , |
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ISBN:
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978-7-122-01518-1 价格： CNY48.00 |
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载体形态:
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236页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 20080101 |
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内容提要:
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本书主要介绍MEMS/MOEMS封装技术的最新进展，以及工艺的共性、个性和可靠性。针对高成本的封装，本书给出了全面的解决方案，内容全面、系统、新颖。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN405.94 版次： |