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题名:
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微电子材料与器件制备技术 / 王秀峰,伍媛婷 , |
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ISBN:
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978-7-122-02445-9 价格： CNY39.00 |
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载体形态:
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225页 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 20080501 |
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内容提要:
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本书以微电子材料为对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、全面系统介绍了微电子材料与器作制备技术的前沿问题与进展。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： |