题名:
硅微机械加工技术
/ 法埃尔温斯波克(Elwenspek,M.)，捷扬森(Jansen,H.) ,
ISBN:
978-7-5025-9258-5 价格： CNY58.00
载体形态:
348页 24cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
化学工业出版社
出版日期： 20070101
内容提要:
本书内容包括：硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述、硅的表面微机械加工技术、LIGA工艺、硅-硅直接键合工艺等。
主题词:
微电子技术
中图分类法:
TN4 版次：