题名:	MEMS可靠性 / (日)O. Tabata, (日)T. Tsuchiya ,
ISBN:	978-7-5641-1575-3 价格： CNY50.00
载体形态:	247页 24cm
出版发行:	出版地：南京出版社：东南大学出版社出版日期： 20090101
内容提要:	本书共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法；第二部分论述MEMS器件的可靠性。
主题词:	微电机
中图分类法:	TM38 版次：