|
题名:
|
微机电系统设计与制造 / 刘晓明,朱钟淦 , |
|
ISBN:
|
978-7-118-04121-7 价格： CNY32.00 |
|
载体形态:
|
12,371页 23cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 20080101 |
|
内容提要:
|
本书内容包括：MEMS的概论、MEMS的设计、集成电路(IC)基本制造技术，MEMS的制造技术、微传感器和微执行器等. |
|
主题词:
|
微电机 |
|
中图分类法:
|
TM38 版次： |