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题名:
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微电子机械系统力学性能及尺寸效应 / 刘凯, 韩光平 , |
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ISBN:
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978-7-111-25575-8 价格： CNY30.00 |
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载体形态:
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11,209页 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 20090101 |
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内容提要:
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本书共分9章，分析了MEMS的特征及其近期发展；详细分析了尺寸效应的内涵；建立尺寸效应泛函的分析模型；研究了单晶硅微桥式梁弯曲强度的尺寸效应及分布规律。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： |