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题名:
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新型表面形貌测量仪器 / 杨练根, 王选择 , |
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ISBN:
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978-7-03-021042-5 价格： CNY38.00 |
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载体形态:
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208页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 20080101 |
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内容提要:
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本书首先系统地对表面形貌测量仪器的发展进行了综述，然后从原理、结构、信号处理、软件设计等方面论述了基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统、基于激光聚焦伺服式传感器的轮廓仪、基于激光干涉测量的轮廓仪等三种表面形貌测量仪器，最后论述了表面形貌测量仪器的关键部件——运动工作台。 |
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主题词:
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机械量仪 |
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中图分类法:
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TG8 版次： |