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题名:
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薄膜材料与薄膜技术
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郑伟涛
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ISBN:
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978-7-122-01314-9
价格：
CNY38.00
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载体形态:
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249页
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
化学工业出版社
出版日期：
20080101
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内容提要:
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本书系统地阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识，重点介绍了薄膜材料的真空制备技术，薄膜的化学制备核物理其相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。
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主题词:
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薄膜材料
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中图分类法:
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TQ320.72
版次：
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