题名:
微光机电系统
/ (日)泽田廉士, (日)羽根一博, (日)日暮荣治 ,
ISBN:
7-03-013313-7 价格： 38.00
载体形态:
347页 24cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
科学出版社
出版日期： 20050101
内容提要:
本书重点介绍了微光机电系统在各领域中的应用，微光机电系统光学和材料、制造、封装等。
主题词:
微电机
中图分类法:
TM38 版次：