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题名:
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半导体集成电路制造手册 / (美)耿怀玉Hwaiyu Geng , |
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ISBN:
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7-121-03281-3 价格： 168.00 |
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载体形态:
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16,732页 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 20060101 |
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内容提要:
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本书内容涵盖相关技术的基础知识和现实中的实际应用，以及生产过程的计划、实施和控制等运营管理方面，介绍了有关半导体晶圆工艺、MEMS、纳米技术和平面显示器的最新信息，以及最先进的生产和自动化技术。 |
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主题词:
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半导体集成电路 |
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中图分类法:
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TN430.5 版次： |