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题名:
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高数值孔径投影光刻物镜的光学设计 Gao Shu Zhi Kong Jing Tou Ying Guang Ke Wu Jing De Guang Xue She Ji / 徐安成著 , |
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ISBN:
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978-7-5674-1789-2 价格： CNY58.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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17cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 东北林业大学出版社 出版日期： 2019.5 |
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内容提要:
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本书的内容包括：针对45 nm节点投影光刻物镜的应用, 开展了工作波长为193 nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜, 并对两个设计方案的优劣进行对比分析, 选择了同轴式结构作为最终的设计方案，等等。 |
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主题词:
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投影光刻物镜 光学设计 |
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中图分类法:
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TH74 版次： 5 |
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主要责任者:
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徐安成 Xu An Cheng 著 |
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索书号:
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3 |