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题名:
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硅加工中的表征 [ 专著] gui jia gong zhong de biao zheng / Yale E. Strausser[主编] , |
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ISBN:
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978-7-5603-4280-1 价格： CNY88.00 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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15,240页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 哈尔滨工业大学出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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本书内容包括：材料表征技术在硅外延生长中的应用；多晶硅导体；硅化物；铝和铜基导线；级钨基导体；阻隔性薄膜等。 |
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主题词:
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半导体工艺 研究 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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主要责任者:
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斯特劳瑟 si te lao se 主编 |
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索书号:
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3 |