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题名:
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微机电系统(MEMS)工艺基础与应用 [ 专著] wei ji dian xi tong (MEMS) gong yi ji chu yu ying yong / 邱成军，曹姗姗，卜丹编著 , |
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ISBN:
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978-7-5603-5109-4 价格： CNY48.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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301页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 哈尔滨工业大学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀、包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀，表面微加工工艺的基本原理及其常用材料，硅片键合技术的各种方法、工艺过程及其各自的影响因素，LIGA技术的基本工艺流程和各部分工艺的实现方法；在工艺基础上介绍了传感器和执行器的基本原理、应用范围及其工艺流程；最后就MEMS在军事、医疗、汽车方面的应用及对MEMS器件实现检测的方法加以介绍。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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邱成军 qiu cheng jun 编著 |
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主要责任者:
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曹姗姗 cao shan shan 编著 |
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主要责任者:
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卜丹 bu dan 编著 |
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附注:
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“十二五”国家重点图书 |
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索书号:
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3 |