检索条件： 微光机电系统 ( 题名 )
责任者 (日)泽田廉士, (日)羽根一博, (日)日暮荣治
出版信息 科学出版社 ,20050101
ISBN 7-03-013313-7
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微光机电系统
(日)泽田廉士, (日)羽根一博, (日)日暮荣治.科学出版社,20050101.
责任者 张文栋，熊继军
出版信息 机械工业出版社 ,20060101
ISBN 7-111-19266-4
微光机电系统(MOEMS)
张文栋，熊继军.机械工业出版社,20060101.
责任者 (美)莫塔麦迪
出版信息 国防工业出版社 ,20100001
ISBN 978-7-118-06365-3
(美)莫塔麦迪.国防工业出版社,20100001.
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