检索条件： 微机电系统 ( 主题词 )
责任者 闻邦椿
出版信息 机械工业出版社 ,20200101
ISBN 978-7-111-64897-0
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机械设计手册: 微机电系统及设计: 单行本
闻邦椿.机械工业出版社,20200101.
责任者 (美)维卡斯·乔杜里，(加)克日什托夫·印纽斯基, 周海宪，程云芳，周华伟
出版信息 机械工业出版社 ,20200001
ISBN 978-7-111-64958-8
微机电系统 (MEMS): 元器件、电路及系统集成技术和应用
(美)维卡斯·乔杜里，(加)克日什托夫·印纽斯基, 周海宪，程云芳，周华伟.机械工业出版社,20200001.
出版信息 机械工业出版社 ,20150101
ISBN 978-7-111-49150-7
机械设计手册: 微机电系统设计与激光
闻邦椿.机械工业出版社,20150101.
责任者 聂伟荣
出版信息 南京大学出版社
ISBN
机电与微机电系统设计
聂伟荣.南京大学出版社,.
责任者 国家自然科学基金委员会，中国科学院
出版信息 科学出版社 ,20200001
ISBN 978-7-03-065240-9
微纳机电系统与微纳传感器技术
国家自然科学基金委员会，中国科学院.科学出版社,20200001.
责任者 娄利飞编著
出版信息 电子工业出版社 ,2010年05月
ISBN 978-7-121-10808-2
微机电系统与设计
娄利飞编著.电子工业出版社,2010年05月.
责任者 娄利飞
出版信息 电子工业出版社 ,20100101
娄利飞.电子工业出版社,20100101.
责任者 石庚辰, 郝一龙
出版信息 电力出版社 ,20060101
ISBN 7-5083-4384-0
微机电系统技术基础
石庚辰, 郝一龙.电力出版社,20060101.
责任者
出版信息 化学工业出版社 ,20040301
ISBN 7-5025-5237-5
微机电系统设计与制造
.化学工业出版社,20040301.
出版信息 化学工业出版社 ,20030101
ISBN 7-5025-4320-1
微机电系统
.化学工业出版社,20030101.
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